利用虚拟技术研发出了一种用来测量mems中硅片厚度的光学测微计，其可分辨到微米级别。该系统主要是通过数据采集卡来将模拟信号及数字信号输出，从而实现对激光器的控制，另外其是利用图像采集卡来获取晶体图像的，而对于x、y坐标的控制则是通过pc-step-4cx来实现的。除此之外最重要的，对于数据的分析及其结果的显示及控制是通
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